Szilícium-tetraklorid

A szilícium-tetraklorid (SiCl4, CAS 10026-04-7) színtelen vagy halványsárga, füstölgő folyadék, amely heves reakcióba lép nedvességgel, és sűrű, fehér hidrogén-klorid-gőzöket szabadít fel. Forr 57,65 fokon, és vízmentes szerves oldószerekben, például benzolban, kloroformban és szén-tetrakloridban jól oldódik. Kulcsfontosságú szilíciumforrásként a SiCl4-et széles körben használják optikai szál előformák, félvezető minőségű szilícium-dioxid, poliszilícium és szerves szilícium monomerek gyártásában. CVD-eljárásokban is alkalmazzák SiO2 és Si3N4 vékonyrétegekhez, valamint füstölt szilícium-dioxid és szilán kapcsolószerek előállításához. Maró anyagként besorolva (UN 1818, 8. osztály, PG II); száraz nitrogén védelem alatt, víztől, alkoholoktól és bázisoktól szigorúan elkülönítve kell kezelni.