Triklór-szilán

A triklórszilán (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) színtelen, erősen illékony folyadék, éles, fullasztó hidrogén-klorid szaggal. 31,8 fokon forrva, és hevesen reagál a nedvességgel, a Siemens folyamatának kulcsfontosságú alapanyaga a fotovoltaikus napelemekhez és félvezető lapkákhoz való nagy{10}}tisztaságú poliszilícium előállításához. A TCS-t széles körben használják szilícium epitaxiális lapka növesztésében, szerves szilícium szintézisben (szilikon olajok, gumik, gyanták, kapcsolószerek), CVD szilícium vékonyréteg-leválasztásban és szelektív redukálószerként a szerves szintézisben. Elérhető ipari minőségű (99,0% vagy annál nagyobb) és elektronikus minőségű (9N tisztaságig). Vízreaktív és erősen tűzveszélyes (UN 1295, Class 4.3+2.3, PG I) besorolása rendkívül széles, 1,2–90,5% közötti robbanási tartománnyal; csak szigorúan vízmentes körülmények között, száraz nitrogén védelemmel kezelje.